effect
In de elektronische gasfamilie worden silaan, fosfaan, boraan en arsaan veel gebruikt en zijn uiterst belangrijke grondstoffen voor de IC-productie. Fosfoaan is een belangrijke doteringsbron van het N-type bij de productie van halfgeleiderapparaten, en het wordt ook gebruikt in processen zoals chemische dampprecipitatie van polysilicium, epitaxiale GaP-materialen, ionenimplantatie, MOCVD-proces en bereiding van passieve films op fosforsiliciumglas (PSG).
PH3, ontvlambaar, explosief, zeer giftig, met toxiciteitsniveaus van PEL/TLV 0,3 ppm, STEL 1 ppm, LC50 20 ppm, IDLH 200 ppm, is een zeer giftige gevaarlijke stof.
Noodhulp en verwijdering
1, Lekkage-noodreactie
Evacueer personeel snel uit het besmette gebied naar bovenwinds en isoleer ze onmiddellijk gedurende 450 meter, met strikte beperkingen bij het in- en uitstappen. Sluit de vuurbron af. Het wordt aanbevolen dat het hulpdiensten een persluchtmasker en beschermende kleding dragen. Sluit de lekkagebron zoveel mogelijk af. Redelijke ventilatie en versnelde diffusie. Verdunnen en oplossen met spuitwater. Bouw dijken of graaf kuilen om de grote hoeveelheid gegenereerd afvalwater op te vangen. Gebruik indien mogelijk een afzuigventilator om het gelekte gas naar een open ruimte af te voeren of installeer een geschikt mondstuk om het af te branden. Lekkagecontainers moeten vóór gebruik op de juiste manier worden behandeld, gerepareerd en geïnspecteerd.
2. Beschermende maatregelen
Ademhalingsbescherming: Draag onder normale werkomstandigheden een gefilterd gasmasker (volgelaatsmasker). In omgevingen met hoge concentraties is het noodzakelijk een lucht- of zuurstofmasker te dragen. Het wordt aanbevolen om tijdens een noodredding of evacuatie een luchtmasker te dragen.
Bescherming van de ogen: Draag een chemische veiligheidsbril.
Lichaamsbescherming: Draag een zelfklevend gasjack in maskerstijl.
Bescherming van de handen: Draag rubberen handschoenen.
Overige: Roken, eten en drinken zijn ten strengste verboden op de werkplek. Na het werk douchen en omkleden. Zorg voor goede hygiënegewoonten. Bij het betreden van tanks, beperkte ruimten of andere gebieden met hoge concentraties voor werkzaamheden moet toezicht worden gehouden door iemand.
3. Eerstehulpmaatregelen
Inademing: Snel van het toneel verwijderen naar een plaats met frisse lucht. Houd de luchtwegen open. Indien ademhalen moeilijk is, zuurstof toedienen. Als de ademhaling stopt, voer dan onmiddellijk kunstmatige beademing uit. Zoek medische hulp.
Brandblusmethode: Brandweerlieden moeten gasmaskers van het filtertype (volgelaatsmaskers) of ademhalingstoestellen van het isolatietype dragen, brand- en gasbeschermende kleding voor het hele lichaam dragen en de brand tegen de wind in blussen. Sluit de luchtbron af. Indien de gasbron niet direct kan worden afgesloten, mag het brandende gas niet worden geblust. Sproei water om de container af te koelen en verplaats de container, indien mogelijk, van het vuur naar een open ruimte. Blusmiddel: spuitwater, schuim, droog poeder, kooldioxide.
