Gasbeschrijving
Tetrafluorkoolstof, ook bekend als tetrafluormethaan. Kleurloos, geurloos en geurloos gas. Onoplosbaar in water, 0,0015 bij 25 ℃ onder normale druk, oplosbaar in chloroform en benzeen. Dit product is niet giftig en niet brandbaar. Bij hoge concentraties heeft het een verdovend effect. Het zeer zuivere gas en het mengsel ervan met zeer zuivere zuurstof zijn momenteel het meest gebruikte plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie. Chemicalbook kan ook worden gebruikt als koel- en isolatiemedium voor lage temperaturen. Goede chemische en thermische stabiliteit, inert voor veel reagentia, niet gehydrolyseerd bij 1000 ℃. Het reageert niet met koper, nikkel en wolfraam bij kamertemperatuur. Vanwege de sterke chemische stabiliteit van de CF-binding kunnen perfluorkoolstoffen, vertegenwoordigd door CF4, als in wezen niet-toxisch worden beschouwd.
Belangrijkste toepassingen
Koolstoftetrafluoride is momenteel het meest gebruikte plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie. Het wordt veel gebruikt voor het etsen van dunne filmmaterialen zoals silicium, siliciumdioxide, siliciumnitride, fosforsilicaatglas en wolfraam. Het wordt ook veel gebruikt bij de oppervlaktereiniging van elektronische apparaten, de productie van zonnecellen, lasertechnologie, koeling bij lage temperaturen, gasisolatie, lekdetectiemiddelen, standcontrole van ruimteraketten, reinigingsmiddelen, smeermiddelen en remvloeistoffen bij de productie van gedrukte schakelingen. . Vanwege de sterke chemische stabiliteit kan CF4 ook worden gebruikt in industrieën zoals metaalsmelterijen en kunststoffen.
Opslag en voorzorgsmaatregelen
Opslaan in een koel en geventileerd magazijn voor niet-brandbaar gas. Blijf uit de buurt van vonken en warmtebronnen. De opslagtemperatuur mag niet hoger zijn dan 30 ℃. Het moet gescheiden van brandbare materialen en oxidatiemiddelen worden opgeslagen en gemengde opslag moet worden vermeden. De opslagruimte moet zijn uitgerust met noodhulpapparatuur voor lekkages.
